场发射扫描电子显微镜 日立 SU8010

发布者:杜珍珠发布时间:2019-03-16浏览次数:3353

场发射扫描电子显微镜  日立SU8010

来样须知:

1.    扫描电镜不能做磁性样品,样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)

2.    样品不得具有磁性,并且不易被磁化;

3.    样品中不得含有水分,如果是胶体溶液,可事先将液体滴在硅片或锡箔纸或载玻片上干燥后待测;

4.    块状样品高度小于10mm,直径(或最大边长)小于25mm

5.    多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理;

6.    生物样品请自行预处理、干燥;

7.    样品应具有导电性。若样品不导电,需要进行镀金处理。  

性能指标:

分辨率:1.0nm (15 kV) 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式)2.0nm (1 kV, WD = 1.5mm, 普通模式)

放大倍数:30-800,000倍;电子枪:冷阴极场发射电子源 ;     加速电压:0.5-30kV (0.1KV/步,可变,普通模式)

样品台: X: 0-50mm Y: 0-50mm, Z:1.5-30mm, T: -5-70°,R:360°, 样品尺寸最大直径:100mm(标准)

信号选择:二次电子模式和背散射模式,X射线信号,辅助信号 

主要应用:

利用SU8010可进行:(1)形貌分析,通过形貌像可以对样品的形貌、粒径、分散性进行表征,可用于金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观察,同时还可对材料断口和失效进行分析(2)微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成。


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